VeraFlex III XF ---X射线光电子光谱分析系统 （XPS）
VeraFlex III XF ---X射线光电子光谱分析系统 （XPS）：
设备简介
1.Nova是半导体业界领先的专注于薄膜量测分析设备供应商，提供超高分辨率XPS+XRF in-line量测系统
2.VeraFlexIII+ XF是第四代超高分辨率XPS（X-Ray光电子光谱分析系统），用于超薄膜成分及厚度量测以达到薄膜工艺质量控制
应用及特点
- 应用于控片，产品片(薄膜组分及厚度直接测量，在线工艺控制）
- POR（业界必备标准测量设备）：SiON，HKMG，FinFET，DRAM，VNAND， MRAM,PCRAM
- 超高分辨率(Sub-A)，直接测量方式量测薄膜材料组分及薄膜厚度
- 适用于90nm~5nm 任何技术节点。
- 可同时使用XPS+XRF 测量不同厚度且多层薄膜结构
